半导体自动物料搬运系统项目可行性研究报告

1、项目基本情况

（1）项目名称：半导体自动物料搬运系统项目

（2）项目建设单位：沈阳新松机器人自动化股份有限公司

（3）建设地点：辽宁省沈阳市

（4）项目性质：新建

（5）主要产品：自动物料搬运系统、洁净存储系统、洁净搬运机器人。项目建成后，达产年预计可实现年均营业收入约 119,000.00 万元。

（6）项目总投资：65,572.09 万元

（7）项目建设周期：2.5 年

（8）主要建设内容：AMHS 装备制造中心、研发设计大厦、厂区建设工程，厂区建设工程包括厂房改造、生产及辅助生产设施、动力设施、环保设施、安全设施、消防设施、管理设施等。

2、项目经济效益分析

经过可行性论证及项目收益测算，本项目具有良好的经济效益。项目实施后，能够为公司带来稳定的现金流入。

3、项目的必要性和可行性

（1）项目的必要性

AMHS系统国产化是半导体行业发展必然趋势

在半导体加工厂中，AMHS 系统（自动化物料搬送系统）非常关键，是提高半导体制造产率、成品率以及设备利用率的保证。尤其是对于实现了生产设备与设备之间自动搬送的全自动化半导体工厂，一个高效的 AMHS 系统可以大幅缩短在制品的等待时间，从而缩短晶圆产品的生产周期。

在半导体芯片加工厂中已经大量使用 AMHS 系统，AMHS 系统显著提升了芯片加工厂的生产效率，并且使晶圆制造过程中的数据得以实时获取，提升了整个制造过程的管控能力，随着先进封装产业的发展进步，AMHS 系统会进一步扩展到后道，成为整个半导

体产业的核心自动化传输系统，作为半导体芯片加工厂与先进封装厂的大动脉，AMHS 系统将有更加广阔的应用空间，AMHS 系统是现代化半导体工厂自动化系统中最大的单项投资项目，目前市场主要被日本大福、日本村田机械和美国AMAT 等国外公司垄断。国内半导体制造厂商进口一条 AMHS 系统价格极其昂贵，售后维护和服务费用高昂，给国内半导体制造厂商增加了巨大的经济成本，实现 AMHS 系统的国产化和自主可控是国内半导体产业发展的必然趋势。

AMHS 系统是半导体装备新的业务增长点

公司自 2018 年 6 月成立半导体装备事业部以来进一步加强公司在半导体AMHS 领域的技术和服务能力，完善在 AMHS 系统产业的布局。自动物料搬运系统（AMHS）是公司自主研发的面向半导体行业的高端装备，从 2004 年开始布局研发，在 2010 年开始初步产业化，验证了自主研发的可行性，在技术方面也得到了深厚沉淀。经过十几年的发展，公司的自动物料搬运系统（AMHS）已经形成了体系完整、系列丰富、应用广泛的独立产品线。

在当前国际形势下以美国为首的发达国家加强对中国半导体产业的封锁，国内半导体产业对于自动物料搬运系统（AMHS）需求迫切，具有很大的市场前景，是企业发展洁净装备的重要机会，自动物料搬运系统（AMHS）等半导体自动化系统将成为支撑公司未来发展的新的增长点。

（2）项目的可行性

AMHS 是半导体自动化设备的重要组成部分，市场前景广阔

半导体制造工厂是高度自动化的生产模式，通过自动化搬运系统在各个设备之间传输晶圆的载具，这样不仅可以提高工厂的生产效率，而且可以监控每一片晶圆的生产过程，保证产品的品质。半导体制造工厂的自动化系统主要由空中无人搬运车（OHT）、洁净存储系统（STK）和移动机器人（AGV）等产品组成。

半导体工厂自动化对工厂的稼动率非常重要，直接影响工厂的盈利能力，全球该市场的年采购额在 20 亿美金左右，主要为日本村田机械和日本大福所垄断。公司在国家 02 专项的支持下，广泛吸收国际先进经验，以自有技术为基础，开发了整套的半导体制造工厂自动化系统，公司一方面借助国产化的大环境，积极寻找进入主流工厂的市场机会，另一方面，也在积极开拓芯片封装工厂、LED制造工厂、8 寸工厂等新市场，希望通过差异化竞争，尽快实现产业化。

随着 5G、云计算、新能源汽车等新型市场需求的驱动，以及中国半导体制造国产化的大势所趋，公司的半导体设备自动化产品和工厂自动化产品的前景广阔，在这个年产值 30 亿美金的细分市场逐渐扩大份额，最终成为全球半导体产业链中重要的一环。

全球半导体行业与设备市场规模保持稳健增长。半导体行业受益于手机、平板电脑等智能终端的销售量增长，半导体行业正持续稳定的快速发展，未来随着人工智能和物联网产业的进一步扩张，半导体的需求将会激增。

公司自动物料搬运系统（AMHS）已形成完善的产业链条

自动物料搬运系统（AMHS）系统设备主要包括洁净存储系统（Stocker）、洁净轨道系统、空中无人搬运车（OHT）、空中无人穿梭车（OHS）、移动复合机器人（MR）。公司自主研发的自动物料搬运系统（AMHS）系统具有高洁净度，高可靠性，节能性的特点，标准的 SEMI 软件接口，可以方便对接 MCS 系统，可实时上报系统各种状态数据，实现工厂智能管理。

为加强公司自动物料搬运系统（AMHS）系统的技术与服务能力，2018 年公司整合内外部资源，进一步完善公司自动物料搬运系统（AMHS）的产业链条，可以为半导体工厂厂提供整套自动物料搬运系统，提高了在洁净自动化设备领域的竞争力。

公司自动物料搬运系统（AMHS）项目实施与运营经验丰富公司承担的国家“02 专项”项目《300mmIC 生产线自动物料搬运系统研发与应用》已经完成验收，形成了 OHT、OHCV、Stocker、轨道式导引机器人（RGV）等系列产品。

在产业化方面，半导体自动搬运系统（AMHS）已经实现在上海集成电路研发中心生产线上的应用，并成功应用于 Sandisk、赛意法等半导体芯片加工厂，面向面板制造厂开发的掩模版自动物料搬运系统，包含 Stocker、AGV、Unpack、MCS 系统，已经在华星光电 T1、T7 工厂及夏普广州厂实现成熟应用，成为行业新的标杆解决方案，面向新型 OLED 显示技术开发的物料搬运存储系统包含OHCV、BAY、Stocker、磁导航机器人（MGV）、大负载洁净机械手，已成功应用于维信诺、华星光电等工厂，此外公司的 AGV 等半导体自动搬运子系统在半导体行业中已经实现了批量应用，具有非常丰富的项目实施与运营经验。